1、光學環(huán)境真空微腔探針臺 測試腔、控溫及加熱系統(tǒng)

測試夾具要求：可實現(xiàn)XYZ移動；光學環(huán)境真空微腔探針臺

測試腔：同時滿足靜態(tài)/動態(tài)測試，304不銹鋼材質(zhì)，可在紫外燈下保證氣密性測試；

測試樣品數(shù)：同時測試8個樣品，可進行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應管測試；

測量溫度：室溫---300 ℃

控溫精度：±1 ℃

顯示精度：±0.1 ℃

測溫傳感器：PT100

升溫斜率：1-10 ℃/min

通訊類型：RS485

加熱功率：500 W

測試腔容積<2 L

2、探針臺和氣體配比器

流量計數(shù)量：5個，（根據(jù)客戶需求標定 氣體  量程    進氣口和出氣口）

流量規(guī)格：500 ml/min

精準度：±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(＜30% F.S.)

重復精度：±0.2% F.S

響應時間：≤1 s

密封形式：金屬密封

接頭尺寸：6 mm

漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s

通訊接口：RS485

4、樣品12*10mm，探針可移動范圍x-y 1-10mm，z軸3-5mm

5、每個樣品上方一個紫外燈，四個燈連成燈串外置一個可控開關。紫外燈可更換，樣品上方2cm。

6、加熱板上有個鍍金襯底，用來連接柵極。

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